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DJL-680多功能磁控濺射離子鍍設備

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DJL-680多功能磁控濺射離子鍍設備

該設備采用磁控濺射,膜層致密、細膩、硬度高、光澤好、柔性好;是鍍制金屬膜、化合物膜以及各種復合膜的理想設備。

詳情

該設備采用磁控濺射,膜層致密、細膩、硬度高、光澤好、柔性好。使用HiPIMS電源,成膜速度大幅提高。偏壓能有效提高膜層與機體的附著力,提高成膜速率和提高膜層品質。是鍍制金屬膜、化合物膜以及各種復合膜的理想設備。采用分子泵系統(tǒng)有效防止和解決長時間工作引起的擴散泵返油問題,更好的提高鍍膜質量,而且節(jié)省電能;平面磁控靶帶有靶門方便靶材更換和清洗,粑面配有自動擋板防止交叉污染和鍍前洗靶;整機操作方便可靠,可全自動化作業(yè)生產,并可儲存修改多種生產工藝制程。

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