鍍膜產(chǎn)品的常見問題，部分是鍍膜工序的本身造成的，部分是前工程遺留的問題，鍍膜終的品質(zhì)是整個光學(xué)零件加工的（特別是拋光、清洗）的綜合反映，對于出現(xiàn)鍍膜不良時必須綜合考慮，才能真正找到不良產(chǎn)生的原因，對策改善才能取得成效。

膜臟（也稱白壓克）

顧名思義，膜層有臟。一般的膜臟發(fā)生在膜內(nèi)或膜外。臟可以包括：灰塵點、白霧、油斑、指紋印、口水點等。（灰塵點和白霧單列）

01

灰點臟

現(xiàn)象：鏡片膜層表面或內(nèi)部有一些點子（不是膜料點）有些可以擦除，有的不能擦除。并且會有點狀脫膜產(chǎn)生。

產(chǎn)生原因：

1、真空室臟，在開始抽真空時的空氣渦流將真空室底板、護板的臟灰?guī)У界R片上，形成灰點層。（膜內(nèi)，不能擦除，會有點狀脫膜）

2、鏡圈或碟片臟，有浮點灰塵，在離子束作用下附著到了鏡片上形成灰點層。（膜內(nèi)，不能擦除，會有點狀脫膜）

3、鏡片上傘時就有灰塵點，上傘時沒有檢查挑選。（膜內(nèi)，不能擦除，會有點狀脫膜）

4、鍍制完成后的環(huán)境污染是膜外灰點的主要成因，特別是當(dāng)鏡片熱的時候，更容易吸附灰塵，而且難以擦除。（膜外）

5、真空室充氣口環(huán)境臟、開始充氣量過大、充氣過濾器臟，充氣時鏡片溫度過高也是造成鏡片膜外灰塵點不良的原因。（膜外）

6、 作業(yè)員人為帶來的灰塵污染（膜內(nèi)膜外）

7、 工作環(huán)境中灰塵過多

改善思路：杜絕灰塵源

改善對策：

1、工作環(huán)境改造潔凈車間，嚴(yán)格按潔凈車間規(guī)范實施。

2、盡可能做好環(huán)境衛(wèi)生。盡量利用潔凈工作臺。

3、 真空室周期打掃，保持清潔。

02

膜外白霧

現(xiàn)象：鍍膜完成后，表面有一些淡淡的白霧，用混合液擦拭，會有越擦越嚴(yán)重的現(xiàn)象。用氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（又稱：可擦拭壓克）

分析：膜外白霧的成因較為復(fù)雜，可能的成因有：

①、膜結(jié)構(gòu)問題：外層膜的柱狀結(jié)構(gòu)松散，外層膜太粗糙；

②、蒸發(fā)角過大，膜結(jié)構(gòu)粗糙。

③、溫差：鏡片出罩時內(nèi)外溫差過大

④、潮氣；鏡片出罩后擺放環(huán)境的潮氣

⑤、真空室內(nèi)Polycold解凍時水汽過重

⑥、蒸鍍中充氧不完全，膜結(jié)構(gòu)不均勻

⑦、膜與膜之間的應(yīng)力

改善思路：膜外白霧成因很多，但各有些特征，盡量對癥下藥。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善環(huán)境減少吸附的對象。

改善對策：

1、改善膜系，外層加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善鏡片出罩時的環(huán)境（干燥、清潔）

2、降低出罩時的鏡片溫度（延長在真空室的冷卻時間）減少溫差、降低應(yīng)力。

3、改善充氧（加大），改善膜結(jié)構(gòu)。

4、適當(dāng)降低蒸發(fā)速率，改善柱狀結(jié)構(gòu)

5、離子輔助鍍膜，改善膜結(jié)構(gòu)

6、加上polycold解凍時的小充氣閥（其功能是及時帶走水汽）

7、從蒸發(fā)源和夾具上想辦法改善蒸發(fā)角。

8、改善基片表面粗糙度。

9、注意polycold解凍時的真空度。

03

膜內(nèi)白霧

白霧形成在膜內(nèi)，無法用擦拭方法祛除。

可能的成因：

①、基片臟，附著前工程的殘留物

②、鏡片表面腐蝕污染

③、膜料與膜料之間、膜料與基片之間的不匹配。

④、氧化物充氧不夠。

⑤、一層氧化鋯膜料，可能對某些基片產(chǎn)生白暈現(xiàn)象

⑥、基片進罩前（洗凈后）受潮氣污染

⑦、洗凈或擦拭不良，洗凈痕跡、擦拭痕跡

⑧、真空室臟、水氣過重

⑨、環(huán)境濕度大

改善思路：基片本身的問題可能是主要的，鍍膜是盡量彌補，鍍膜本身的可能是膜料匹配問題。

改善對策：

1、改進膜系，層不用氧化鋯。

2、盡量減少真空室開門時間，罩與罩之間在短時間內(nèi)做好真空室的清潔、鍍膜準(zhǔn)備工作。

3、真空室在更換護板、清潔后，能空罩抽真空烘烤一下，更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈。

4、改善環(huán)境

5、妥善保護進罩前在傘片上的鏡片，免受污染。

6、改善洗凈、擦拭效果。

7、改善膜匹配（考慮層用Al2O3）

8、改善膜充氧和蒸發(fā)速率（降低）

9、加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。

10、拋光加工完成的光面，必須立即清潔干凈，不能有拋光粉或其他雜質(zhì)附著干結(jié)。
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